氦质谱检漏仪的主要性能指标
1、最小可检漏率:即氦质谱检漏仪所能检出的最小漏孔的漏率。
2、响应(清除)时间:指一定流量的探索气体进入氦质谱检漏仪后,电子和真空系统需要一定的响应时间,漏率指示才能达到最大值;反之,停止供气后,漏率指示不能立即回零,需要一定时间的下降过程,通常由于氦气的吸附和脱附作用,清除时间稍长于响应时间。
3、启动时间:指氦质谱检漏仪自接通电源到能进行检漏的时间。
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1、最小可检漏率:即氦质谱检漏仪所能检出的最小漏孔的漏率。
2、响应(清除)时间:指一定流量的探索气体进入氦质谱检漏仪后,电子和真空系统需要一定的响应时间,漏率指示才能达到最大值;反之,停止供气后,漏率指示不能立即回零,需要一定时间的下降过程,通常由于氦气的吸附和脱附作用,清除时间稍长于响应时间。
3、启动时间:指氦质谱检漏仪自接通电源到能进行检漏的时间。