SEM中的真空度
SEM中的真空度
首先，我们来谈谈扫描电镜（SEM）中的真空度。真空度（或压力值）可由操作者控制。对于台式扫描电镜，真空度在1 - 10帕斯卡之间。用于比较的是：大气压是100000帕斯卡。
当压力降到大气压值以下时，所有液体都会发生相变。因此所有扫描电镜（SEM）的内部必须采用不受高真空度影响的特殊材料。
有些样品会受到影响，并且它们的行为也会有所不同：zui敏感的是含水样品。
有内部孔隙的样品，或者是由含水材料制成的样品，都可能会受到影响，因为它们会在成像过程中释放出气体。
任何从样品中释放出的气体都是成像工具的风险，因为它可能会污染镜筒或探测器，损害仪器的功能，或影响图像质量。出于这个原因，飞纳台式扫描电镜（Phenom Desktop SEM）通常配备一个保护程序，当检测到突然或意外增加的压力水平时，会弹出样品。
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