真空等离子清洗的优势

真空等离子清洗的优势

等离子清洗作为重要的材料表面改性方法，已经在众多领域广泛使用。 与传统的一些清洗方法，如超声波清洗、UV 清洗等，具有以下优点：

（A）处理温度低

处理温度可以低至 80℃、50℃以下，低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。

（B）处理全程无污染

等离子清洗机本身是很环保的设备，不产生任何污染，处理过程也不产生任何污染。

（C）处理效果稳定

等离子清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理后较长时间内保持效果良好。

（D）可以处理各种形状的样品 对于复杂形状的样品，等离子清洗都能找到合适的解决方案。 真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。

等离子清洗机的结构主要分为四大部分组成：控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气

体系统、以及真空泵系统。

（A）控制系统： 控制系统的功能在于控制整个设备的运行，包括人机界面（触摸屏）、PLC、电气电路。采 用全自动控制系统的真空等离子清洗，可实现多种模式多种程序对清洗设备进行控制，满足 不同客户的需求。

（B）激励电源系统：

激励电源主要有三类：40KHz 的中频激励电源，13.56MHz 的射频激励电源，2.45GHz 的 微波激励电源。目前业界主要采用的是射频激励电源和中频激励电源。各自应用场合不同。

（C）真空腔体： 真空腔体主要是分为三种材质的：1）铝合金腔体，2）不锈钢真空腔体，3）石英腔体。根 据用户的不同需求，可实现不同的放电模式和适用不同的样品尺寸和产能。

工艺气体包括流量计、气压阀等，用户可灵活选择多路的工艺气体方案，氩气、氧气、氢气、

氮气、四氟化碳等，可满足不同工艺方案要求。清洗各种产品表面。

（E）真空泵： 真空泵分为油泵、干泵、罗茨泵，油泵主要采用双级旋片泵，根据用户所采用的腔体体积、 工作效率、环境要求来制定真空泵的方案。