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等离子体/化学刻蚀设备化学刻蚀的介绍和过程

2021.4.18

  化学蚀刻(Chemical etching)

  蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。

  蚀刻技术可以分为『湿蚀刻』(wet etching)及『干蚀刻』(dry etching)两类。

  通常所指蚀刻也称光化学蚀刻(photochemical etching),指通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。

  最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量(Weight Reduction)仪器镶板,名牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工;经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。

  过程:清洗板材(不锈钢其它金属材料)---烘干---涂布---曝光 ---显影--蚀刻--脱膜

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