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感生电流像的功能介绍

2023.2.01

中文名称

感生电流像

英文名称

induced current image

定  义

在扫描电子显微镜中,由电子探针对半导体和集成电路样品作用而感生的电流所成的像。

应用学科

机械工程(一级学科),光学仪器(二级学科),电子光学仪器-电子光学仪器一般名词(三级学科)


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