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简述纳米压痕原理

2020.9.28

  纳米压痕技术(英:Nanoindentation),也称深度敏感压痕技术(英:Depth-Sensing Indentation, DSI),是最简单的测试材料力学性质的方法之一。

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  纳米压痕技术也称深度敏感压痕技术,它通过计算机程序控制载荷发生连续变化,实时测量压痕深度,由于施加的是超低载荷,监测传感器具有优于1nm的位移分辨率,所以,可以达到小到纳米级(0.1~100nm)的压深,它特别适用于测量薄膜、涂层等超薄层材料力学性能,可以在纳米尺度上测量材料的力学性质,如载荷-位移曲线、弹性模量、硬度、断裂韧性、应变硬化效应、粘弹性或蠕变行为等。

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