X荧光光谱仪（XRF）由激发源（X射线管）和探测系统构成。
X射线管产生入射X射线（一次X射线），激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。

 仪器采用美国新型的Si-pin探测器，电致冷而非液氮制冷，体积小、数据分析准确且维护成本低。采用自主研发的SES信号处理系统，有效提高测量的灵敏度，让测量更。一键式自动测试，使用更简单，更方便，更人性化。八种光路校正准直系统，根据不同样品自动切换。 多重防辐射泄露设计。先进的一体化散热设计，使整机散热性能得到极大提高，保证了核心部件的运行安全。*的机芯温控技术，保证X射线源的安全可靠运行，有效延长其使用寿命，降低使用成本。多重仪器配件保护系统，并可通过软件进行全程监控,让仪器工作更稳定、更安全。ROHS测试软件，标准视窗设计，界面友好，操作方便。