贫铀表面的Ar气脉冲辉光放电清洗
由于贫铀特有的化学性质,其表面在大气中始终存在一层影响界面结合的氧化层。为了增强薄膜与铀基体之间的有效结合,需要采用先进的辉光放电技术对铀基体进行薄膜沉积前的原位清洗。铀样品经金相砂纸逐级打磨并抛光,将样品放入俄歇电子能谱仪(AES)预制室,充入Ar气进行辉光放电清洗,清洗后用俄歇电子能谱仪对表面进行分析。
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