俄歇电子能谱仪的电子光学系统简介
电子光学系统主要由电子激发源（热阴极电子枪）、电子束聚焦（ 电磁透镜）和偏转系统（偏转线圈）组成。电子光学系统的主要指标是入射电子束能量，束流强度和束直径三个指标。其中AES分析的最小区域基本上取决于入射电子束的最小束斑直径；探测灵敏度取决于束流强度。这两个指标通常有些矛盾，因为束径 变小将使束流显著下降，因此一般需要折中。
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电子光学系统主要由电子激发源（热阴极电子枪）、电子束聚焦（ 电磁透镜）和偏转系统（偏转线圈）组成。电子光学系统的主要指标是入射电子束能量，束流强度和束直径三个指标。其中AES分析的最小区域基本上取决于入射电子束的最小束斑直径；探测灵敏度取决于束流强度。这两个指标通常有些矛盾，因为束径 变小将使束流显著下降，因此一般需要折中。
