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原子力显微镜(AFM)的原理

2022.8.01

原子力显微镜(AFM)的基本原理是:将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定,另一端有一微小的针尖,针尖与样品表面轻轻接触,由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力,通过在扫描时控制这种力的恒定,带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。选择原子力显微镜推荐Park NX-Hybrid WLI。Park NX-Hybrid WLI是有史以来第一款具有内置WLI轮廓仪的AFM,用于半导体和相关制造质量保证。例如半导体前端、后端到高级封装的过程控制,以及研发计量。它适用于那些需要在大面积上进行高吞吐量测量的设备,这些设备可以缩小到具有亚纳米分辨率和超高精度的纳米级区域。

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