鼓风干燥箱对温度的扼制来成功实现准确性
鼓风干燥箱又叫烘箱，主要由外箱、内箱、扼制系统、加热系统、风路循环系统组成。因其对温度扼制的准确性且温度的撩动和温度平均性都颀长，因为这个比平常的烘箱来说更安全靠得住。
鼓风干燥箱对温度的扼制的准确性，主要是经过以下形式来成功实现的：
一、鼓风干燥箱扼制系统：
1. PID数码温度扼制器，可将温度扼制到十分。
2. 认为合适而使用固态替续器(SSR)零件，可以将温度扼制的比较准。
3. PID+SSR来成功实现对温度准确的扼制。
二、鼓风干燥箱风路循环系统：
1. 水准送风循环。认为合适而使用可调分风板施行风量、风速、风向的调节，此方案烘烤的产品要求横放。
2. 铅直送风循环。认为合适而使用可调分风板施行风量、风速、风向的调节，此方案烘烤的产品要求竖放。
鼓风干燥箱准确的扼制系统和合理的风路预设，要得温度能够获得合理的利用循环和扼制，因此达到准确控温的目标。
三、鼓风干燥箱一般工作流程：
首先确定真空烘箱工作温度。典型的预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真空度达到某一高真空度后，开始充人氮气，充到达到某低真空度后，再次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分。然后再次开始抽真空，充入气体，在到达设定时间后，停止充入药液，进入保持阶段，使硅片充分反应。
当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。首先鼓风干燥箱加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。
四、鼓风干燥箱原理：
鼓风干燥箱通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层，降低了处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。
五、鼓风干燥箱标准操作流水线：
1、需干燥解决的物件放入真空干燥箱内，将箱门打开，并开放放气缸，封闭真空阀，再封闭真空泵电源开端抽气，使箱体到达用户所需真空度，开放真空阀，再开放真空泵电源电门。
2、把鼓风干燥箱电源电门拨至“I”处，设定所需量度，箱体量度开端下降，当箱体量度濒临设容量度时，加热批示灯突亮突熄，重复屡次，正常120min以内搁板层面进入恒温形态。
3、当所需任务量度较底时，可采纳二次设定形式，如所需任务量度60℃，次能够设定50℃，等值渡过冲开端回落伍，再第二次设定60℃，那样可升高以至根绝温渡过冲景象，尽快进入恒温形态。
4、依据没有同物件没有同湿润水平，如干燥工夫较长，真空度降落，需再次抽气复原真空度，应先封闭真空泵发电机电门，再封闭真空阀。
5、鼓风干燥箱完成干燥终了后，应先开放电源，旋动放气缸，消除箱体真空形态，再翻开箱门存入物件。消除真空后，因垫圈与玻璃门吸紧变形没有易即时翻开箱门，通过一段工夫后，等垫圈恢恢复形后，能力便当封闭箱门。
-
仪器推荐
-
仪器推荐
-
仪器推荐
-
仪器推荐
-
仪器推荐
