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白光干涉仪的的特点有哪些?

2021.6.25

  白光干涉仪的主要功能: 观察、分析、应用

  特点:

  1 、非接触式测量:避免物件受损。 2 、三维表面测量:表面高度测量范围为 1nm ---200μm。

  3 、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。

  4 、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达0.1nm。

  5、高速数字信号处理器:实现测量仅需几秒钟。

  6 、扫描仪:闭环控制系统。

  7、工作台:气动装置、抗震、抗压。

  8 、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。

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