白光干涉仪的的特点有哪些?
白光干涉仪的主要功能: 观察、分析、应用
特点:
1 、非接触式测量:避免物件受损。 2 、三维表面测量:表面高度测量范围为 1nm ---200μm。
3 、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4 、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需几秒钟。
6 、扫描仪:闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8 、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
推荐
白光干涉仪的主要功能: 观察、分析、应用
特点:
1 、非接触式测量:避免物件受损。 2 、三维表面测量:表面高度测量范围为 1nm ---200μm。
3 、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4 、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需几秒钟。
6 、扫描仪:闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8 、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。