雷尼绍激光干涉仪回转轴精度的测量方法
其测量过程可以概述为以下5步:
将WR50安装于回转轴中心,调整位置使偏心量尽可能小于0.1mm;
按图2所示安装好角度反射镜,调节激光激光干涉仪位置。
编写机床程序,设置回转轴测量的目标点和暂停时间,在激光干涉仪软件中做好相应设置。
调整WR50置于零位,激光干涉仪读数置零。
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