扫描电镜日常维护
扫描电镜实验室环境要求：
室内温度：20±5，相对湿度：70%以下，不得有冷凝现象。
电源电压：(220±20)伏;频率：(50±0.5)赫兹。
冷却水流量不低于2L/min，压力不低于5×10^4Pa，水温为20±5。
实验室内杂散磁通量密度不超过5×10^-7T，地基振幅不超过5μm，不得有电磁干扰，不得存放于实验室无关的易燃、易爆和强腐蚀性气体和试剂。
扫描电镜日常维护方法：
保持扫描电镜室的洁净，室内温度要求在20±5，湿度在70%以下。
长期保持镜筒在一定的真空状态，即使扫描电镜不工作期间，也要做到每周开机1~2次，以防镜筒内部锈蚀。
机械泵的油量必须保持在窗口油位刻线的水平上，并定期用热偶真空计测定其排气性能，以确定机械泵油是否需要更换。如用直观的方法观察到窗口油的颜色呈茶色，说明油需要换。
如发现扫描电镜真空度太差，确定扩散泵抽速下降，更换机器内扩散泵油。
定期清洗镜筒，确保电子光路的正常工作。清洗的范围是电子束经常照射的有关易污染部件，如各活动光栏、样品杯、电子枪室等。清洗的方法有所区别，如光栏用真空喷涂仪加热清洗，电子枪室用酒精和丙酮按1：1混合用棉球清洗，但不论清洗哪一个部件，最好少用或不用抛光膏。
定期开启扫描电镜各功能部分，每次时间不应小于1小时，防止电器元件的老化和扫描电镜受潮。
定期检测扫描电镜X射线的泄漏情况(通常是防疫站完成检测)。
开机、关机均应严格按照说明书指示的步骤操作。
及时保存、备份有用的数据文件，以免丢失数据;删除无用数据文件，确保计算机有足够储存空间。
新扫描电镜第一次5年后进行校准，以后每3年一次，1.5年进行期间核查一次。扫描电镜校准项目为直观检定、真空度的测定、放大倍数示值误差的测定、放大倍数重复性的测定、屏幕中心与四角边缘处倍率误差的测定、二次电子图像分辨率的测定、X射线能谱分辨率的测定、X射线能谱仪元素分析范围的测定;核查内容为放大倍数示值误差和X射线能谱分辨率的测定。
每周清洁一次扫描电镜的防尘滤网，一年左右更换一次真空泵油。
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