透射电镜(TEM)样品制备之块体样品
块体样品的制备 :
金属薄膜、陶瓷样品在最终减薄以前,要尽可能磨得薄一些,最好在30um以下,不要超过50um。
(1).切取薄片可用线切割、金刚石砂轮片切割等;
(2).通过手工研磨将金属试样研磨成厚度~0.05mm的金属薄片;
(3).用冲片器将金属薄片冲成直径为3mm的小圆;
(4).最终减薄,样品中心部分穿孔,穿孔边缘很薄,电子束能透过,其最终减薄方法包括电解双喷、离子减薄及FIB聚焦离子束法,其中电解双喷仅适用于导电材料;离子减薄仪易于控制,但速度较慢;FIB适用于半导体器件的切割。
推荐