能谱仪结构及工作原理
能谱仪结构及工作原理能谱仪,结构,工作原理,特征X射线,X射线探测器X射线能量色散谱分析方法是电子显微技术最基本和一直使用的,具有成分分析功能的方法,通常称为X射线能谱分析法,简称EDS或EDX方法.它是分析电子显微方法中最基本,最可靠,最重要的分析方法,所以一直被广泛使用.1.特征X射线的产生特征X射线的产生是入射电子使内层电子激发而发生的现象.即内壳层电子被轰击后跳到比费米能高的能级上,电子轨道内出现的空位被外壳层轨道的电子填入时,作为多余的能量放出的就是特征X射线.高能级的电子落入空位时,要遵从所谓的选择规则(selectionrule),只允许满足轨道量子数l的变化Δl=±1的特定跃迁.特征X射线具有元素固有的能量,所以,将它们展开成能谱后,根据它的能量值就可以确定元素的种类,而且根据谱的强度分析就可以确定其含量.另外,从空位在内壳层形成的激发状态变到基态的过程中,除产生X射线外,还放出俄歇电子.一般来说,随着原子序数增加,X射线产生的几率
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