离子研磨仪的工作原理
离子研磨系统可以无应力的去除样品表面层，加工出光滑的镜面，为扫描电子显微镜的样品制备提供了最为有效的解决方案。离子研磨法是利用通过电场加速过的离子轰击样品表面，在样品表面产生溅射效应，由此制备尺度为毫米级别的平滑表面的研磨方法。氩气属于惰性气体，基本不会和样品发生化学反应，因此通常我们采用Ar作为离子源轰击样品。
推荐
关注公众号
手机查看
离子研磨系统可以无应力的去除样品表面层，加工出光滑的镜面，为扫描电子显微镜的样品制备提供了最为有效的解决方案。离子研磨法是利用通过电场加速过的离子轰击样品表面，在样品表面产生溅射效应，由此制备尺度为毫米级别的平滑表面的研磨方法。氩气属于惰性气体，基本不会和样品发生化学反应，因此通常我们采用Ar作为离子源轰击样品。
