XPS测试怎么看
XPS的测试与数据分析
XPS 的样品一般是10mm*10mm* 5mm，也可以更小些，厚度不能超过 5mm。XPS 分析室的真空度可以达到<10-9 Pa, 因此样品要干燥，不能释放气体。XPS的灵敏度很高，待测样品表面，绝对不能用手，手套接触，也不要清洗表面。
一、发展历史
XPS理论首先是由瑞典皇家科学院院士、乌普萨拉大学物理研究所所长 K· Siebahn 教授创立的。原名为化学分析电子能谱: ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)。1954年研制成世界上第一台双聚焦磁场式光电子能谱仪。XPS是一种对固体表面进行定性、定量分析和结构鉴定的实用性很强的表面分析方法。
二、功能与特点
（1）定性分析--根据测得的光电子动能可以确定表面存在哪些元素：
a. 能够分析出了氢，氦以外的所有元素，灵敏度约0.1at%。空间分辨率为100um, X-RAY 的分析深度在1.5nm左右。
b. 相隔较远，相互干扰较少，元素定性的相邻元素的同种能级的谱线标识性强。
c. 能够观测化学位移，化学位移同原子氧化态、原子电荷和官能团有关。化学位移信息是利用XPS进行原子结构分析和化学键研究的基础。
（2）定量分析--根据具有某种能量的光电子的强度可知某种元素在表面的含量，误差约20%。既可测定元素的相对浓度，又可测定相同元素的不同氧化态的相对浓度。
（3）根据某元素光电子动能的位移可了解该元素所处的化学状态，有很强的化学状态分析功能。
（4）由于只有距离表面几个纳米范围的光电子可逸出表面，因此信息反映材料表面几个纳米厚度层的状态。
（5）结合离子溅射可以进行深度分析。
（6）对材料无破坏性。
（7）由于X射线不易聚焦, 照射面积大,不适于微区分析。
（8）是一种高灵敏超微量表面分析技术，样品分析的深度约为20Å，信号来自表面几个原子层，样品量可少至10-8 g，绝对灵敏度高达10-18g。
三、制样
样品尺寸不宜过大，一般应不大于10*10*5mm；样品表面应大体上平整；样品最好能够导电；表面应作脱脂处理，绝对避免用手触摸；原始表面应尽可能尽快测试，避免长时间在空气中存放；粉末样品可以压成块状，或撒布在胶带上；也可以将粉末溶解在适当溶剂中做成溶液，涂在样品台上，再使溶剂挥发即成样品；气体、液体样品多用冷却法令其凝固。
