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扫描电子显微镜的原理及应用

2023.1.12

扫描电子显微镜工作原理

（1）扫描

电子枪产生的高能电子束入射到样品的某个部位时，在相互作用区内发生弹性散射和非弹性散射事件，从而产生背散射电子、二次电子、吸收电子、特征和连续谱X射线、俄歇电子、阴极荧光等各种有用的信号，利用合适的探测器检测这些信号大小，就能够确定样品在该电子入射部位内的某些性质，例如微区形貌或成分等。

为了研究样品上更多部位的特征，必须利用扫描系统移动入射电子到样品上的不同位置。

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