扫描电子显微镜的工作原理及主要结构
一、扫描电子显微镜SEM工作原理
扫描电子显微镜SEM是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为5-35KeV的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的细微电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以及其它物理信号），二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。
二、扫描电子显微镜SEM特点
1.可以观察大块试样，制样方法简单
2.场深大、三百倍于光学显微镜，适用于粗糙表面和断口的分析观察；图像富有立体感
3.放大倍数变化范围大
4.高分辨率
5.可以通过电子学方法有效控制和改善图像的质量，如通过调制可改善图像反差的宽容度，使图像各部分亮暗适中。
6.可进行多种功能分析。
三、扫描电子显微镜SEM主要结构
1.电子光学系统：电子枪；电磁透镜（第一、第二聚光镜和物镜）；物镜光阑
2.扫描系统：扫描信号发生器；扫描放大控制器；扫描偏转线圈
3.信号探测放大系统：探测二次电子、背散射电子等电子信号（物理信号）。
4.图像显示和记录系统：早期SEM采用显像管、照相机等。数字式SEM采用电脑系统进行图像显示和记录管理。
5.真空系统：真空度高于5X10*-5Torr。常用：机械真空泵、扩散泵、涡轮分子泵
6.电源系统：高压发生装置、高压油箱
以上就是从扫描电子显微镜SEM的工作原理、主要结构及SEM特点来介绍扫描电子显微镜，目前扫描电镜被广泛用于材料科学、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。
