氯化氙准分子激光器的功能介绍
中文名称
氯化氙准分子激光器
英文名称
xenon chloride excimer laser
定 义
以氙、氯化物气体(或氯气)、氦(或氩)的混合气体为工作物质的准分子激光器 。
应用学科
机械工程（一级学科），光学仪器（二级学科），激光器件和激光设备-激光器名称（三级学科）
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中文名称
氯化氙准分子激光器
英文名称
xenon chloride excimer laser
定 义
以氙、氯化物气体(或氯气)、氦(或氩)的混合气体为工作物质的准分子激光器 。
应用学科
机械工程（一级学科），光学仪器（二级学科），激光器件和激光设备-激光器名称（三级学科）
