TEM样品制备
样品制备
由于透射电子显微镜收集透射过样品的电子束的信息,因而样品必须要足够薄,使电子束透过。
l 试样分类:复型样品,超显微颗粒样品,材料薄膜样品等。
l 制样设备:真空镀膜仪,超声清洗仪,切片机,磨片机,电解双喷仪,离子薄化仪,超薄切片机等。
▽ 超细颗粒制备方法示意图
来源:公开资料
▽ 材料薄膜制备过程示意图
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