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TEM样品制备

2018.6.30

样品制备


由于透射电子显微镜收集透射过样品的电子束的信息,因而样品必须要足够薄,使电子束透过。


l 试样分类:复型样品,超显微颗粒样品,材料薄膜样品等。

l 制样设备:真空镀膜仪,超声清洗仪,切片机,磨片机,电解双喷仪,离子薄化仪,超薄切片机等。

 

 超细颗粒制备方法示意图


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来源:公开资料

 

 材料薄膜制备过程示意图


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