实验室分析仪器--ICP焰炬的形成条件及其过程
ICP矩焰形成的过程（见图1）就是ICP工作气体电离的射感应线圈过程。
图1 等离子体焰炬
形成ICP炬焰必须具备四个条件：
（1）负载线圈
为2～4匝钢管，中心通水冷却。高频发生器为其提供高频能源。频率采用27.12MHz或40.68MH工频，功率为1～1.6kW。
（2）ICP炬管
由三管同心石英玻璃制成。外管ø约20mm、中间管ø≈16mm、内管出口处ø 1.2～2mm。外管气体以切线方向进入。
（3）工作气体
一般使用氩气，外管与中间管之间通氯等离子体入10～20L/min氩气，称为等离子气（通常称为冷却气），它是形成等离子体的主要气体，起到冷却炬管的作用。中间管与内管之间通入0.5～1.5L/min氩气，称为辅助气，它的作用是提高火焰高度，保护内管。内管通入0.2～2L/min氩气，称为载气，它的作用是将样品气溶胶带入ICP火焰。
（4）高压Tesla线圈
通过尖端放电引入火种，使氩气局部电离为导电体，进而产生感应电流。当高频电流通过负载线圈时，其周围空间产生交变磁场H，这种交变磁场使空间气体电离，但此时它仍是非导体。炬管内虽有交变磁场却不能形成等离子体火焰。如果在管口处用Tesla线圈放电，引入几个火花，使少量氩气电离，产生电子和离子的“种子”。这时，交变磁场就立即感应这些“种子”，使其在相反的方向上加速并在炬管内沿闭合回路流动，形成涡流。这些电子和离子被高频场加速后，在运动中遭受气流的阻挡而发热，达到高温，同时发生电离，出现更多的电子和离子，而形成火焰状的等离子焰炬。此时，负载线圈像一个变压器的初级线圈，等离子体火焰是变压器的次级线圈，也是它的负载。高频能量通过负载线圈第耦合到等离子体上，而使ICP火焰维持不灭。
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