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P-N结半导体探测器的类型

2021.10.29

  

  扩散结(Diffused Junction)型探测器

  采用扩散工艺——高温扩散或离子注入 ;材料一般选用P型高阻硅,电阻率为1000;在电极引出时一定要保证为欧姆接触,以防止形成另外的结。

  金硅面垒(Surface Barrier)探测器

  一般用N型高阻硅,表面蒸金50~100μg/cm2 氧化形成P型硅,而形成P-N结。工艺成熟、简单、价廉。

  存在的矛盾

  由于一般半导体材料的杂质浓度和外加高压的限制,耗尽层厚度为1~2mm。 对强穿透能力的辐射而言,探测效率受很大的局限。

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