核质谱检漏仪作为一种测量仪器，需根据设备的使用频率、被测品工艺要求定期使用标准漏孔对设备自身进行校准，以保证设备自身检测精度；我司标配的标准漏孔为一种渗氦型真空标准漏孔，标称漏率在1.6E-08级左右，其年漏率年衰减在5%。它是由离子源、分析器、接收器、真空系统、电子线路及其它电气部分组成。目前的氦质谱检漏仪基本上都是磁偏转型的。

    核质谱检漏仪的三大故障及解决：

    1、电泵故障及解决

    （1）电泵不举动。审查名目有：电源电压是否畸形，电门是否翻开，绕组是否断路或接地，电机是否过热（泵结冰后是否能启动）。

    （2）电泵音调异样。审查油位是否适合，油质是否变坏，油温是否＜10℃，油雾过滤器的入口有无气体排出（那末无气体排出，更替油雾过滤器）。

    2、分子泵故障及解决

    （1）开机2min后压力批示灯不亮。此时候子泵未转动，即分子泵出口压力未到设定值或未检测到压力（通常压力应＜10-3MPa，压力过高分子泵将无奈启动）。因而，重要审查招致压力过高的成分。审查的名目有：PI1真空规管是否有问题，分子泵入口是否翻开，电泵油是否太脏或电泵是否转动，零碎是否有透露。

    （2）分子泵减速批示灯不亮。CD2通路板上的保险丝烧断，更替保险丝或审查是否有短路景象。

    （3）分子泵故障灯亮。审查CD2通路板设置电门是否在于R地位，此时无须在N地位。审查风扇是否停留，那末风扇畸形，请和厂家联络。

    3、质谱室故障

    （1）真丝批示灯不亮。审查真丝开要害是否在于开放地位（再按一下），审查I/O短接插销是否仪器前面的接口。

    （2）真丝批示灯闪耀。用万用表审查质谱室飞行插座1和5接报柱是否开路，若开路，更替真丝；若不开路，审查接报柱6是否和其余接头导通，肃清短路景象.

    （3）遥控面板无压力批示。审查PI3规管是否有问题。

    （4）当检漏结束时压力不上升。审查通路板PO318保险丝是否有问题.

    （5）检漏口压力＞0.01MPa。电泵油生效或PI3规管坏.