实验室分析仪器--扫描俄歇微探针的基本功能和用途
基本功能:
(1)可进行样品表面的微区选点分析(包括点分析,线分析和面分析);
(2)可进行深度分析;
(3)化学价态研究
用途:纳米薄膜材料,微电子材料的表 面和界面研究及摩擦化学研究。
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(1)可进行样品表面的微区选点分析(包括点分析,线分析和面分析);
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(3)化学价态研究
用途:纳米薄膜材料,微电子材料的表 面和界面研究及摩擦化学研究。
