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环境扫描电镜中“环境”指什么?

2019.12.13

1.用电子束作照明源,显微镜的分辨本领要高得多,分辨本领:2-3nm,可以直接分辨原子,并且还能进行纳米尺寸的晶体结构及化学组成的分析。
2.但电磁透镜的孔径半角的典型值仅为10-2-10-3rad。
3.几何像差:由透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的。
4.色差:由电子波的波长发生一定幅度的改变而造成的。
环境扫描电镜中的“环境“并非真正意义上的大气环境,与传统SEM样品室高达10-3-10-6Torr的真空度相比,ESEM样品室的真空度很低,从1Torr-20Torr,非常接近大气环境,但不等同于760Torr的大气环境。

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