离子研磨仪的平面研磨法简介
平面研磨法是将氩离子束倾斜照射到样品表面,并将氩离子束中心和样品旋转中心进行偏心调整,实现广域加工的方法3) 。氩离子束的照射角度(θ)可设置为0°~90°4) 。当照射角度≥80°时,离子束照射角度与样品加工面近乎平行,因此,可以减少由于晶体取向和成分蚀刻速率差造成的凹凸不平,形成相对平滑的加工面。这种方法常用于去除机械研磨加工对树脂包埋样品造成的研磨痕迹,实现样品的精加工。照射角度较小时,可以利用蚀刻速率差,凸显样品的凹凸特性。通过样品表面的凹凸形貌,判断多层膜的层结构等。
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