离子溅射仪器的技术指标
离子溅射仪器是一种用于交通运输工程领域的分析仪器，于2016年06月28日启用。
技术指标
（1）样品室大小：直径120mm×高度120mm；
（2）靶材：Au靶、Au/Pd靶、Pt靶、Pt/Pd靶，靶材尺寸：直径57mm×厚度0.1mm；
（3）样品台：可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm；
（4）溅射控制：程序化数字控制，最大电流40mA；
（5）溅射头：低电压平面磁控管；
（6）厚度监控：MTM-20高分辨厚度控制仪，可自动终止溅射过程。
推荐
关注公众号
手机查看
离子溅射仪器是一种用于交通运输工程领域的分析仪器，于2016年06月28日启用。
技术指标
（1）样品室大小：直径120mm×高度120mm；
（2）靶材：Au靶、Au/Pd靶、Pt靶、Pt/Pd靶，靶材尺寸：直径57mm×厚度0.1mm；
（3）样品台：可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm；
（4）溅射控制：程序化数字控制，最大电流40mA；
（5）溅射头：低电压平面磁控管；
（6）厚度监控：MTM-20高分辨厚度控制仪，可自动终止溅射过程。
