干涉显微镜的基本原理
干涉显微镜是利用光波的干涉原理精确测量试样表面高度微小差别的计量仪器。按其原理可以分为多束干涉显微镜和双光束干涉显微镜两类。这里仅就基于双光束干涉的显微镜进行论述。
干涉显微镜是根据光波干涉原理设计制造出来的。图1中(a)为其光学系统示意图。由光源1发出的光线经聚光镜2、滤色片3、光阑4及透镜5后成平行光束，射向半反半透的分光镜7后分成两束：一束光线通过补偿镜8、物镜9到平面反射镜10，被10反射又回到分光镜7，再由7经聚光镜11到反射镜16，由16进入目镜12；另一束光线向上通过物镜6，投射到被测零件表面，由被测零件表面反射回来，通过分光镜7、聚光镜11到反射镜16，由16反射也进入目镜12。这样，在目镜12的视场内可以观察到这两柬光线因光程差而形成的干涉带图形。若被测试样表面粗糙不平，则干涉带将如图1中(b)所示的弯曲状；图1中(c)为干涉显微镜的外形示意图。 [2]
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