X射线荧光光谱仪通常可分为两大类，波长色散X射线荧光光谱仪(WDXRF)和能量色散X射线荧光光谱仪(EDXRF)，波长色散光谱仪主要部件包括激发源、分光晶体和测角仪、探测器等，而能量色散光谱仪则只需激发源和探测器和相关电子与控制部件，相对简单。
 

　　波长色散X射线荧光光谱仪使用分析晶体分辨待测元素的分析谱线，根据Bragg定律，通过测定角度，即可获得待测元素的谱线波长：
 

　　nλ=2dsinaθ (n=1,2,3…)
 

　　式中 ，λ为分析谱线波长；d为晶体的晶格间距；θ为衍射角；n为衍射级次。利用测角仪可以测得分析谱线的衍射角，利用上式可以计算相应被分析元素的波长，从而获得待测元素的特征信息。
 

　　能量色散射线荧光光谱仪则采用能量探测器，通过测定由探测器收集到的电荷量，直接获得被测元素发出的特征射线能量：
 

　　Q=kE
 

　　式中，K为入射射线的光子能量；Q为探测器产生的相应电荷量；k为不同类型能量探测器的响应参数。电荷量与入射射线能量成正比，故通过测定电荷量可得到待测元素的特征信息。
 

　　待测元素的特征谱线需要采用一定的激发源才能获得。目前常规采用的激发源主要有射线光管和同位素激发源等。
 

　　为获得样品的定性和定量信息，除光谱仪外，还必须采用一定的样品制备技术，并对获得的强度进行相关的谱分析和数据处理，
 

　　rohs指令是国家刚颁布的《电子电气设备中限制使用某些有害物质指令 》的简称。顾名思义，RoHS检测仪是一种检测ROHS的检测仪，原理是利用X射线检测ROHS标准规定中的元素的含量，这些元素包括：
 

　　1.铅 1000ppm以下 4.六价铬 1000ppm以下
 

　　2.水银 1000ppm以下 5.多溴联苯(PBB) 1000ppm以下
 

　　3.镉 100ppm以下 6.多溴二苯醚(PBDE) 1000ppm以下
 

　　RoHS检测仪有很多种，价格也不等，但都比较贵，只有大的检测中心和大型的公司有。目前很多专门机构都提供ROHS检测的服务。
 

　　RoHS检测仪目前市场上常见的类型是X射线荧光分析仪，又分为能量色散型和波长色散型，能量色散型因其技术原理及结构比波长色散型简单，现市场上比较常见，其技术原理：
 

　　特征X射线
 

　　放射性同位素源或X射线发生器放出的X射线或Γ射线与样品中元素的原子相互作用，逐出原子内层电子。当外层电子补充内层电子时，会放射该原子所固有能量的X射线-特征X射线。
 

　　元素含量与特征X射线强度的关系
 

　　不同元素特征X射线能量各不相同，依此进行定性分析；再根据特征X射线强度大小，可进行定量分析。
 

　　可用函数关系式表示为：C=f(k1I1, k2I2, k3I3...)
 

　　式中：Kn(n=1,2,3…)表示第n号元素的待定系数
 

　　In(n=1,2,3…)表示第n号元素释放的特征X射线强度
 

　　由此可知只要通过标定确定系数Kn之后便可进行物质中元素的定量分析了。