白光干涉式表面测量仪是一种用于机械工程领域的计量仪器，于2011年1月1日启用。

　　1、技术指标

　　白光干涉式表面测量仪：（1）高度测量范围为 10nm ---200μm；（2）表面测量范围为 0.1×0.1mm；（3）垂直分辨率可以达1nm。 。

　　2、主要功能

　　干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。