2.通过ICP-MS的接口将等离子体中的离子有效传输到质谱仪；
3.质谱是一个质量筛选和分析器，通过选择不同质核比（m/z）的离子通过来检测到某个离子的强度，进而分析计算出某种元素的强度。
总结起来就是：
原子化：将原子化的原子大部分转化为离子；离子按照质荷比分离；计算各种离子的数目。
ICP-MS的结构
1.电感耦合等离子体：样品引入系统；离子源
2.接口：采样锥；截取锥
3.质谱：离子透镜系统；四级杆离子过滤器；检测器
样品引入系统
引入方式：
溶液气动或超声方式引入
电热蒸发方式引入
激光或火花方式引入
气体发生方式引入
注：大多数ICP-MS以气动雾化器为标准附件（雾化效率低，1%，但使用方便，稳定性好，易于与自动进样器联用）