臭氧发生器的安全和预防措施
1. 操作设备时必须要知道的安全预防
1.1 不能让橡胶类（橡胶和丁腈橡胶）的密封圈直接接触臭氧，不能使用镀银的VCR垫片；
1.2 不能使用其他气体代替设备指定规格的气体；
1.3 绝不允许任何外来物质进入臭氧发生器，避免臭氧催化剂进入臭氧气管。
2. 设备中的潜在危险以及预防措施—臭氧
1.1 Ozone主要存在于气体管道、臭氧发生管 以及设备连接处；
1.2 Ozone的安全和预防措施：
1. 确保臭氧气柜的排风工作正常；
2. 连接所有的进口和出口的气体管道，并且使用SS不镀银的VCR垫片；
3. 不要打开外部气体管路或者设备连接管路，除非SEMOZONE已通入氮气清洁管道；
4. 在臭氧发生器运行前一定要检查紧固所有的臭氧管路；
5. 观察如果OZONE检测装置臭氧浓度超过TLV设定值，会不会停止臭氧发生器。
1.3 臭氧泄漏的处理措施：
1. 通过激活外部报警信号或者通过急停停止臭氧发生器
2. 疏散所有危险区域的人员
3. 在没有自呼吸式防护装备的情况下不要进入危险区域
4. 在进入危险区域前，要使臭氧自然分解或者消散
3. 设备中的潜在危险以及预防措施—氧气
3.1 Oxygen主要存在于气体管道，臭氧发生管 以及设备连接处；
3.2 Oxygen的安全和预防措施：
1. 连接所有的进口和出口的气体管道，并且使用SS不镀银的VCR垫片；
2.如果存在明火，不要打开外部气体管路或者设备连接管路，直到SEMOZONE已清洗管道；
3.3 氧气泄漏的处理措施：通过外部阀门关闭氧气进气。
4. 设备中的潜在危险以及预防措施—电击 Line voltage
4.1 Line voltage在臭氧发生器的后面接线终端，以及所有的电路连接组成部分（包括臭氧发生器内的电压电路连接）
4.2 Line voltage 电路电压的安全和预防措施：
1. 如果臭氧发生器已上电，不要打开设备盖板接触电路部件；
2. 禁止在臭氧发生器运行中移走绝缘盖板；
3. 保证在维修时要锁定且悬挂维修挂牌。
4.3 虽然总电源和主开关已经断电在OFF位置，一些电路部分依然有电
1. ECOPS（G1）终端区域存在电；
2. 主开关S1输入终端有电。
5. 设备中的潜在危险以及预防措施—电击 High AC voltage
5.1 High AC voltage主要是存在于ECOPS(G1)内部、ECOPS中的电容器内、高电压电缆和连接臭氧管的电路
5.2 High AC voltage 电路电压的安全和预防措施：
1. 如果臭氧发生器已上电，不要打开设备盖板接触电路部件；
2. 禁止在臭氧发生器运行中移走绝缘盖板；
3. 高电压线路没有正确连接和隔离禁止运行AEMOZON。
6. 设备中的潜在危险以及预防措施—电击 Stored charges
6.1 Stored charges是ECOPS(G1)的电源
6.2 High AC voltage 电路电压的安全和预防措施：
1.在SEMOZONE断电之后禁止立即对ECOPS进行维修；
2.SEMOZONE断电之后，在打开ECOPS进行维修和更换之前还要至少等待10分钟以上。
7. 设备中的潜在危险以及预防措施—物理压力 pressure
7.1 压力危险主要存在于气体和水管道、臭氧发生反应管以及设备连接之间
7.2 Pressure 的安全和预防措施：
在打开气体管道、水管道以及设备连接管道时，要对SEMOZONE内进行泄压
7.3 Gas line
1. 冲洗管路至少10分钟，直到所有的臭氧排掉；
2. 通过外部阀门或者压力调节阀关闭氧气进气，如有氮气进气也要关闭；
3. 释放气体压力，通过工艺管路（打开工艺管路阀门）；
4. 等待直到压力接近周围的环境压力。
7.4 Water line
1. 关闭冷却水进水和出水阀门；
2. 慢慢打开设备连接处，使冷却水排放到预留的外部存水盘中；
3. 等待直到没有多余的水从设备连接处流出来为止。
