扫描隧道显微镜发明前微观表面形貌检测技术有哪几种
扫描隧道显微镜发明前微观表面形貌检测技术有光成像和对试件表面进行扫描。
1、扫描隧道显微镜是用来检测微观形貌的，在其发明以前，就有几种微观形貌检测技术了，只是分辨率较低。表面微观形貌的测量，从原理上可以分为两类。
2、第一类是光成像，包括光折射放大成像和光干涉成像，光折射放大成像检测方法的代表是光学显微镜和透射电子显微镜，光干涉成像法的代表是光干涉显微镜和TOPO移相干涉仪。
3、第二类是对试件表面进行扫描，逐点检测，从而获得表面微观形貌的信息，这一类检测方法的代表是表面轮廓仪和扫描电子显微镜。
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