联合实验室将利用ULVAC制造SME-200型溅射设备开展微电子工艺开发，ULVAC SME-200设备是一款多功能溅射设备，最多可以搭载八个腔室，可针对研究开发和少量生产用途，在8inch Si基板上进行沉积金属，氧化物，氮化物薄膜等先进材料，设备可实现全自动搬送、数据自动存储、保证工艺结果稳定性等功能。通过利用该设备，双方将在MEMS、存储器、功率器件及传感器等领域展开工艺研发合作。
联合实验室的成立，体现了爱发科集团大力推进本土化产业的战略方针。与中科院微电子所共同合作，针对中国正在大力发展的电子半导体产业，提高研发实力，加快推进前沿技术产业化，以产学研结合的模式，实施人才与科技创新双轮驱动战略，为国内的半导体企业提供技术支持、工艺验证的平台