TEM照明系统
照明系统(illuminating system)
照明系统主要由电子枪、聚光镜两部分组成。
电子枪有热发射、冷发射和场发射三种 。最普通的电子枪是热发射型电子枪,即一根发叉形钨丝,通电流加热后,发射出电子束成为电镜的光源。
聚光镜的作用是将电子枪发射出的电子束会聚在试样平面上。改变聚光镜电流密度可调节照明束斑的大小及光密度,并通过调节聚光镜光阑的大小来调节照明孔径角。聚光镜一般有两个,称为二级聚光镜系统。二级聚光镜的作用主要是进一步缩小会聚到样品上的照明光斑以减少样品不必要的污染,并可减小样品的受热面积。
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