等离子体光谱仪是通过线圈磁场达到高温使样品的状态呈等离子态然后进行测量的，要比普通直读光谱仪器的检出限小，精度高，但是在进样系统上要求非常严格。由灯源、光阑、干涉仪、样品室、检测器以及各种反射镜、数据处理系统等组成。

　　高频振荡器发生的高频电流，经过耦合系统连接在位于等离子体发生管上端，铜制内部用水冷却的管状线圈上。石英制成的等离子体发生管内有三个同轴氢气流经通道。冷却气(Ar)通过外部及中间的通道，环绕等离子体起稳定等离子体炬及冷却石英管壁，防止管壁受热熔化的作用。

　　等离子体光谱仪特点：

　　(1)以电荷耦合器件阵列作为检测器，对光谱的扫描不必移动光栅，可进行瞬态采集，响应速度很快，并通过计算机实时输出。

　　(2)采用全息光栅作为分光器件，杂散光低，提高了测量精度。

　　(3)应用计算机技术，很大地提高了光谱仪的智能化处理能力。