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交流放电法获得等离子体的原理

2021.10.14

通常指工频和高频放电。工频放电时,阴、阳极以工频交替变化,其放电特性与直流放电有类似之处。高频放电时,电子仍是从电场取得能量的主要粒子。高频电场使电子往复运动,在此过程中,电子与分子碰撞并把能量传给分子,使气体温度升高,或产生激发、离解与电离现象。碰撞后的电子运动变为无规律的,在电场作用下又按照电场力的方向加速,这样不断地把能量从电场传给气体。在高频放电中,每单位体积气体中输入功率的平均值圴为:

式中n为电子密度;e为电子电荷;Ee为高频电场强度的幅值;m为电子质量;vo为碰撞频率;ω为外加电场的频率。


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