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如何理解表面张力仪的样品台升降系统的指标?

2020.8.10

样品台的升降系统的主要指标包括升降范围或称为行程范围以及精度。行程范围与精度通常是一个反相关函数。行程越大,螺距越大,控制精度也越差。而在表面张力仪的应用于,位移的精度的重要性优于行程范围。具体来说,在表面张力仪中,0.1um精度的系统优于1um的精度的升降系统。而100mm行程范围的1um精度的系统比50mm行程范围的0.1um的升降系统差。更大的行程范围通常会导致移动时间非常长,因而,对升降系统的速度的要求也会有相应的提高。但是,表面张力测试时,速度更慢优于速度快,移动速度0.1mm/s优于1mm/s。所以,控制精度更高、螺距更小的升降系统是关键考虑指标,而非移动范围或行程范围或zui快的移动速度。在写指标要求时,应该明确螺距和控制精度的要求,而无需把移动范围和速度等作为主要指标或重点考虑指标。

例如:如下表格中,后两者均是优于前两个指标项的。

 


指标1

指标2

指标3 A60、A101plus

指标4 A801

移动范围

110

70mm

50

100

分辨率

0.1um

0.1um

0.007um

0.01um

控制精度



1um

5um

螺距



0.5mm

1mm


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