电磁透镜色差的相关介绍
色差是由于成像电子的能量不同或波动，电子在透镜磁场中运动速度不同，从物面上一点散射的电子不能聚焦在像面上同一点而形成的像差，如图1-6所示。
不同能量的电子聚焦在不同位置，像平面上也有一个最小半径为
的散焦斑。同样将折算到物平面上，得到半径为
的圆斑，用表示色差，的大小由下式来确定：
式中，
是电磁透镜的色差系数；
是电子束的能量变化率；
为孔径半角。上式说明，在色差系数和孔径半角一定的情况下，电子能量的波动是主要影响因素。引起电子能量波动的原因主要有两个：一是电子加速电压不稳，致使入射电子能量波动；二是电子束照射试样时和试样相互作用，部分电子产生非弹性散射，致使能量变化。
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