场发射扫描电镜与一般的扫描电镜有什么区别
场发射分热场和冷场，共性是分辨率高。热场的束流大些，适合进行分析，但维护成本相对较高，维护要求高。冷场做表面形貌观测是适合的，相对而言维护成本低些，维护要求不算高。
冷场发射电子枪
优点：单色性好，分辨率高
缺点：电子枪束流不稳定，束流小，不适合做能谱分析，每天要做一次flash
热场发射电子枪
优点：电子束稳定，束流大
缺点：与冷场相比除了单色性和分辨率略差点外，其它找不出缺点。
热场在总发射电流（total
emission
current）、最大探针电流（maximum
probe
current）、电子束噪声（beam
noise）、发射电流漂移（emission
current
drift）、工作真空（operating
vacuum）、阴极还原（cathode
regeneration）、对外部影响的敏感性（sensitivity
to
external
influence）等方面都具有一等的优势。这些参数直接影响电镜的性能。在阴极半径（cathode
radius）、有效电子源半径（effective
source
radius）、发射电流密度（emission
current
density）、标准亮度（normalised
brightness）等方面，冷场发射略胜一筹。这几个参数总起来说就是冷场发射阴极的发射面积较小、能量集中，便于将电子束聚焦于一个很小的点，以提高分辨率。但是在现代的电镜技术条件下，热场发射电镜通过采取各种有效措施，也能够将电子束汇聚于一个理想的点，达到冷场发射电镜的分辨率水平。
热场发射电镜主要的一个缺点是灯丝（阴极）寿命较短，给定寿命2000小时，实际可用3年左右。而冷场发射阴极寿命相对较长，且更换费用较低。
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