冷热场发射扫描电镜的区别
1、适用范围不同。
冷场发射扫描电镜是一种用于材料科学、化学领域的分析仪器,而热场发射扫描电镜是一种用于物理学、材料科学、能源科学技术领域的分析仪器。热场发射扫描电镜使用范围更广。
2、技术指标不同。
冷场发射扫描电镜:
辨率:1.0nm (15kV),2.0nm (1kV),1.4nm(1KV)入射电子减速功能。放大倍率:×20 ~ ×800,000。加速电压:0.5 ~ 30kV。X射线能谱仪分辨率/有效面积:不低于133eV,10mm2。
热场发射扫描电镜:
放大倍数:35—90万倍。分辨率:工作电压15kV时分辨率为1.0nm。加速电压:0.2Kv—30Kv。能谱:探测元素范围B5-U92。能量分辨率:136eV。
3、主要功能不同。
冷场发射扫描电镜是超显微、形貌与成分分析相结合。而热场发射扫描电镜是物理学,材料科学,能源科学技术。
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