洁净烘箱耐高温过滤器特点
洁净烘箱耐高温过滤器也叫无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
烘箱专用耐高温高效过滤器有如下特点：
A、有隔板耐高温高效过滤器外框可选：250℃以下可选铝型材框、铝板折框、镀锌框、不锈钢框；250℃以上必须选用镀锌框或不锈钢框。不同外框材质高效过滤器价格成本也不同。
B、铝型材可选厚度：120mm、150mm、220mm。
C、有隔板耐高温高效过滤器滤料为H13-H14玻纤滤纸。
D、密封胶：红色硅胶（250-280℃）与陶瓷胶（350-400℃）。
E、分隔物为0.03mm厚铝箔。
洁净烘箱耐高温过滤器特点：
1、在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100。
2、全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3、采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)。
4、强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到佳温度控制精度
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