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微波晶体管相关简介

2021.8.27

  在微波波段工作的晶体管。微波波段指频率在300兆赫~300吉赫的电磁波谱。按功能分类,微波晶体管包括微波低噪声晶体管和微波大功率晶体管。按结构分类,微波晶体管可分为双极型晶体管和场效应晶体管。

  由于工作频率高,微波晶体管必须具有微米或亚微米的精细几何尺寸。随着薄层外延技术、浅结扩散或离子注入技术、投影曝光、远紫外曝光、X射线曝光、电子束曝光等微细加工技术的发展,微波晶体管的工作频率、功率和低噪声性能已得到提高。

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