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多功能真空镀膜机的技术指标

2021.10.19

  技术指标

  电子枪蒸发源:一把成都金雅客公司电子枪,6孔坩埚,每孔40cc容量,电子枪位于真空室下部;电子枪冷却水流量监测,互锁保护,自带自动预熔功能、实现膜厚仪自动控制电子枪镀膜,操作更方便。 电阻蒸发:2组蒸发电极,兼容蒸发舟、螺旋蒸发丝,带有自动档板。1台以色列产TDK蒸发电源功率:1.44KW,切换2组源蒸发。 有机蒸发源:6组有机蒸发源,配套6组坩埚。 6台有机蒸发电源,配备实时显示坩埚温度。 工件架(自转 水冷):设备配有自转电动工件盘,一次性放置最大不超过150*150mm样品一片。配有单转轴空心磁流体密封,样品台水冷。高扭矩电机和控制器,转速0~30RPM可调。

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