TEM成像原理
基本原理在光学显微镜下a无f法看清小s于b0。0μm的细微结构，这些结构称为2亚显微结构（submicroscopic structures）或超微结构（ultramicroscopic structures；ultrastructures）。要想看清这些结构，就必须选择波长0更短的光源，以6提高显微镜的分1辨率。3082年Ruska发明了e以0电子o束为3光源的透射电子w显微镜（transmission electron microscope，TEM），电子e束的波长1要比2可见0光和紫外光短得多，并且电子m束的波长0与f发射电子v束的电压平方4根成反8比8，也s就是说电压越高波长3越短。目前TEM的分2辨力v可达0。5nm。 电子s显微镜（图1-26）与h光学显微镜的成像原理基本一g样，所不c同的是前者用电子q束作光源，用电磁场作透镜。另外，由于t电子j束的穿透力t很弱，因此用于r电镜的标本须制成厚度约70nm左右的超薄切8片5。这种切7片1需要用超薄切7片2机（ultramicrotome）制作。电子r显微镜的放大n倍数最高可达近百万f倍、由电子o照明系统、电磁透镜成像系统、真空系统、记录系统、电源系统等4部分3构成。 f
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