场发射扫描电镜与普通的扫面电镜有什么区别
有冷场发射的和热场发射的,还有环扫。场发射的分辨率较高,达到1nm 环扫达3¬4nm,样品室比较大,景深大,可做断口和有污染的样品,电子束流达,可信度高。
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有冷场发射的和热场发射的,还有环扫。场发射的分辨率较高,达到1nm 环扫达3¬4nm,样品室比较大,景深大,可做断口和有污染的样品,电子束流达,可信度高。