扫描电子显微镜的设计思想和工作原理,早在1935年便已被提出来了。1942年,英国首先制成一台实验室用的扫描电镜,但由于成像的分辨率很差,照相时间太长,所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力,尤其是随着电子工业技术水平的不断发展,到1956年开始生产商品扫描电镜。近数十年来,扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中,促进了各有关学科的发展。

  一.扫描电镜的特点

  和光学显微镜及透射电镜相比,扫描电镜具有以下特点:

  (一)能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

  (二) 样品制备过程简单,不用切成薄片。