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直播回顾 | 徕卡EM ACE600高真空镀膜仪产品应用介绍及现场实机操作演示
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2021年5月19日在上海徕卡客户体验中心(Leica Microsystems CEC)，开展了“Leica EM ACE600高真空镀膜仪产品应用介绍及现场实机操作演示”的直播活动。该讲座围绕电镜镀膜技术发展、镀膜作用、影响镀膜质量因素、以及EM ACE600的特点、功能、实验案例、操作和维护等话题，进行了系统的介绍和实机操作演示。
直播精华内容
镀膜作用
对于电子显微镜分析表征而言，镀膜最重要的作用在于减少样品表面荷电效应、提高表面二次电子/背散射电子信噪比、防止电子束辐照损伤等。
影响镀膜质量的因素
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通常，影响镀膜质量的因素主要有：靶材材质、膜厚和真空度。a). 在相同镀膜条件下，不同靶材材质镀膜的颗粒尺寸会大不相同，其中Au颗粒最大，W最小。同时，不同材质膜层的稳定性也有较大差异，例如Au膜层较稳定，W膜层极易被氧化等；b). 通常，膜层膜厚越大，其颗粒尺寸也越大；c). 真空度是影响镀膜质量的最关键因素，镀膜仪环境真空度越高，其腔室内残留的空气杂质就越少，镀膜过程中溅射出的靶材颗粒尺寸、分布就约均匀。
EM ACE600的特点及功能
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EM ACE600采用一体化无油泵，减少油气对仪器的影响；
同时可装配两个靶头，可在四种靶头之间选择；
采用柜门式大舱体设计，能够方便快捷放置大尺寸样品；
可选配辉光放电电极，进行样品表面亲水化处理和表面等离子清洁工作；
可升级冷冻传输、冷冻刻蚀；可配置5种样品台，适用于不用尺寸、种类样品；样品台垂直方向高度可调(30 mm---100 mm)，水平方向角度连续可调(-60°---+60°)；
可选配膜厚检测，精准(0.1 nm)控制镀膜厚度。
EM ACE600操作和维护
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EM ACE600配有大触摸屏，操作界面简单明了，方便用户快速、直观地设定镀膜过程中靶材、样品台、真空度等参数，并可以进行靶材预镀和样品台位置测试，方便客户提高镀膜质量和成功率。同时，系统还包含队列系统，可以通过设定一系列队列操作程序，一次性实现复杂的镀膜操作流程。
EM ACE600日常维护简单，各部件极易拆卸装配。本直播活动最后进行了实机维护操作培训，方便客户随时观看学习。
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